泡生法蓝宝石单晶生长工艺与技术
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泡生法蓝宝石单晶生长工艺与技术作者：刘成成 开 本：16开 书号ISBN：9787030451668 定价：90.0 出版时间：2015-07-01 出版社：科学出版社 |
7.5泡生法蓝宝石单晶中的位错分析
7.5.1单晶中位错产生的原因和种类
7.5.2位错的检测方法
7.5.3降低位错的技术方案
7.6泡生法蓝宝石单晶的其他品质问题分析
7.6.1单晶无晶向的原因
7.6.2led衬底对泡生法蓝宝石单晶的要求
7.6.3窗口对泡生法蓝宝石单晶的要求
第8章泡生法蓝宝石单晶炉的电气系统与控制
8.1泡生法生长蓝宝石电源系统主要技术指标
8.2蓝宝石长晶厂供电方式
8.3泡生法生长蓝宝石电源系统方案
8.3.1普通电力变压器配置电源柜
8.3.2普通电力变压器配置电源柜及外挂apf
8.3.3普通电力变压器配置pwm整流柜及电源柜
8.3.4移相变压器配置直流配电柜及电源柜
8.3.5提升供配电系统性能的其他方法
8.4泡生法蓝宝石单晶生长过程控制的特点
8.5泡生法蓝宝石单晶生长控制系统组成
8.5.1温度控制系统
8.5.2抽真空系统及检测系统
8.5.3水冷却系统
8.5.4籽晶杆运动系统
8.5.5称重系统
8.5.6测温系统
8.5.7机器视觉系统
8.6控制系统硬件选型
8.7控制系统软件的选择
第9章展望
参考文献
彩图
自然科学 地球科学 地质学
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