7.4.2 频率特性
    7.4.3 时域动态响应
    7.4.4 幅频响应特性
    7.4.5 系统影响因素分析
第8章 谐振式压力传感器敏感性分析
  8.1 灵敏度近似计算方法
    8.1.1 压力膜弯曲
    8.1.2 灵敏度分析
    8.1.3 灵敏度影响因素分析
  8.2 不同结构谐振式压力传感器
    8.2.1 固支结构
    8.2.2 跳板结构
    8.2.3 半岛结构
  8.3 改进的灵敏度计算方法
    8.3.1 半岛结构压力应力关系分析
    8.3.2 灵敏度解析式的推导
  8.4 两种方法的比较
第9章 静电微泵泵膜的振动分析
  9.1 静电微泵的模型及泵膜的振动方程
  9.2 泵膜的自由振动
  9.3 泵膜在偏置电压下的静态位移
  9.4 防止静电吸合的条件
  9.5 微泵机电流体耦合动力学模型及压膜阻尼
  9.6 偏置电压下泵膜的振动方程
  9.7 偏置电压下泵膜的自由振动
    9.7.1 自由振动微分方程的求解
    9.7.2 频率特性
    9.7.3 广义坐标
  9.8 偏置电压下泵膜的受迫振动
    9.8.1 受迫振动微分方程的求解
    9.8.2 接近共振的受迫振动
    9.8.3 远离共振的受迫振动
  9.9 实例计算及分析
    9.9.1 系统结构参数
    9.9.2 泵膜静态位移分析
    9.9.3 泵膜的自由振动分析
    9.9.4 泵膜接近共振的受迫振动分析
    9.9.5 泵膜远离共振的受迫振动分析
第10章 微泵流量分析
    10.1 无阀微泵的工作原理
    10.2 扩散口和收缩口的性能分析
    10.3 微泵流量分析
    10.3.1 阻尼比的确定
    10.3.2 流量计算
    10.3.3 瞬时流量计算
    10.4 微泵流量影响因素分析
    10.4.1 远离共振
    10.4.2 接近共振
    10.4.3 流量影响曲线
    10.4.4 结果分析
第11章 微泵结构参数的优化
  11.1 优化设计的数学模型
  11.2 静电微泵优化问题的简化
  11.3 静电微泵的优化
  11.4 ansys仿真分析
    11.4.1 泵膜自由振动模态仿真
    11.4.2 泵膜结构静电耦合变形仿真
第12章 静电驱动微板动力学实验
  12.1 实验测试原理
  12.2 微动实验平台的设计与制造
    12.2.1 主要设计要求
    12.2.2 结构设计
  12.3 简谐激励下微板动力学实验
    12.3.1 共振区域检测
    12.3.2 微板动力学实验
    12.3.3 实验结果与理论值分析比较
参考文献

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