微机电耦合动力学 本书特色

　　许立忠、孙丽波编写的《微机电耦合动力学》主要介绍mems典型构件机电耦合及机电流体耦合动力学的相关理论与应用。全书共分12章，主要内容包括：微机电系统及微机电系统动力学问题的发展与应用现状；静电驱动微板、微梁机电耦合动力学理论；静电驱动微板、微梁机电耦合非线性动力学理论；考虑压膜阻尼的微梁机电流体耦合动力学理论；谐振式微型压力传感器敏感性分析；静电微泵泵膜动力学、流量及结构优化分析；静电驱动微板动力学实验测试。 　　本书可供高等院校微电子、机电一体化等专业的师生阅读，也可作为从事微机电系统工程设计开发的研究生和科研技术人员参考。

微机电耦合动力学 目录

第1章 绪论
  1.1 mems概述
  1.2 mems在军事领域的应用
  1.3 微构件动力学研究
第2章 微梁机电耦合振动
  2.1 微梁机电耦合模型建立
  2.2 静电力分析
  2.3 悬臂式微梁机电耦合自由振动
    2.3.1 静态位移求解
    2.3.2 动态分析
  2.4 弹性支撑微梁机电耦合自由振动
    2.4.1 静态位移求解
    2.4.2 动态分析
  2.5 悬臂式微梁机电耦合受迫振动
    2.5.1 简谐受迫振动
    2.5.2 共振分析
  2.6 弹性支撑微梁机电耦合受迫振动
    2.6.1 简谐受迫振动
    2.6.2 共振分析
  2.7 实例计算及分析
    2.7.1 悬臂式微梁
    2.7.2 弹性支撑微梁
第3章 微梁机电耦合非线性动力学
  3.1 弱非线性系统的自由振动
  3.2 接近共振的受迫振动
  3.3 远离共振的受迫振动
  3.4 实例计算及分析
    3.4.1 弱非线性系统自由振动分析
    3.4.2 接近共振的受迫振动分析
    3.4.3 远离共振的受迫振动分析
第4章 微梁机电流体耦合自由振动
  4.1 微梁机电流体耦合模型建立
    4.1.1 振动方程
    4.1.2 空气挤压膜阻尼
    4.1.3 系统动静态方程
  4.2 微梁机电流体耦合自由振动
    4.2.1 静态位移求解
    4.2.2 动态分析
  4.3 实例计算及分析
    4.3.1 位移振动响应分析
    4.3.2 电场、压力场振动响应分析
    4.3.3 灵敏度分析
第5章 微梁机电流体耦合受迫振动
  5.1 受迫振动方程的建立
  5.2 受迫振动求解
  5.3 实例计算及分析
    5.3.1 共振分析
    5.3.2 灵敏度分析
第6章 微板机电耦合振动
  6.1 微板机电耦合模型建立
  6.2 四边筒支微板机电耦合自由振动
    6.2.1 静态位移求解
    6.2.2 动态分析
  6.3 对边简支对边固定微板机电耦合自由振动
    6.3.1 静态位移求解
    6.3.2 动态分析
  6.4 三边简支一边自由微板机电耦合自由振动
    6.4.1 静态位移求解
    6.4.2 动态分析
  6.5 四边简支微板机电耦合受迫振动
    6.5.1 简谐电压激励
    6.5.2 简谐外载荷激励
    6.5.3 简谐电压和简谐外载荷共同激励
  6.6 对边简支对边固定微板机电耦合受迫振动
    6.6.1 简谐电压激励
    6.6.2 简谐外载荷激励
    6.6.3 简谐电压和简谐外载荷共同激励
  6.7 三边简支一边自由微板机电耦合受迫振动
  6.8 微板机电耦合自由振动实例计算及分析
    6.8.1 四边简支微板
    6.8.2 对边简支对边固定微板
    6.8.3 三边简支一边自由微板
  6.9 微板机电耦合受迫振动实例计算及分析
    6.9.1 简谐电压激励下的受迫响应分析
    6.9.2 简谐电压和简谐外载荷共同作用下的微板动态响应分析
    6.9.3 简谐电压激励下的共振分析
    6.9.4 简谐电压和简谐外载荷共同激励下的共振分析
第7章 微板机电耦合非线性动力学
  7.1 弱非线性系统自由振动
    7.1.1 非线性静电场力
    7.1.2 系统非线性动力学方程
    7.1.3 广义时间函数及幅频响应特性
  7.2 接近共振的受迫振动
  7.3 远离共振的受迫振动
  7.4 实例计算及分析
    7.4.1 工作电压与静态平均位移

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