薄膜结构X射线表征-(第二版) 本书特色

《薄膜结构x射线表征》结合作者二十多年来的工作积累和国内外*新进展，系统介绍应用x射线衍射和散射技术表征薄膜微结构的多种基本实验装置、实验数据分析理论以及典型的薄膜微结构表征实例。《薄膜结构x射线表征》分3篇(共19章)：第1篇为基本实验装置(第1～3章)，主要介绍x射线源、x射线准直和单色化、各种探测器以及薄膜x射线衍射仪和表面/界面散射装置。第2篇为基本理论(第4～10章)，介绍薄膜x射线衍射和散射实验数据分析所用的相关理论，包括用于薄晶体或小晶体多层膜和金属多层膜的x射线衍射运动学理论；用于近完美多层膜、半导体超晶格和多量子阱的x射线衍射动力学理论；用于原子密度和晶格参数很接近的金属多层膜的x射线异常衍射精细结构理论；用于薄膜和多层膜表面与界面分析的x射线反射、漫散射理论以及掠入射衍射理论。基本覆盖了目前应用x射线衍射和散射技术研究薄膜结构所需要的理论。第3篇为薄膜微结构表征(第11～19章)，介绍应用x射线衍射和散射技术表征薄膜微结构的实例，除了总结作者二十多年来在薄膜研究中所解决的微结构表征实例外，还尽量收集近年来国内外有关的重要结果，以供读者参考。薄膜的种类涉及半导体外延膜及超晶格材料、超导异质薄膜材料、金属磁性多层膜材料、软物质薄膜和有机半导体薄膜。表征的微结构包括单层膜和多层膜厚度、点阵参数、应力、表面与界面、缺陷、弛豫横向、调制结构以及钙钛矿结构氧八面体畸变。

薄膜结构X射线表征-(第二版) 内容简介

《薄膜结构x射线表征》力图理论联系实验、深入浅出，而又不失先进性、实用性和普适性。可供从事薄膜材料和器件研究的研究人员和工程技术人员参考，对从事薄膜材料和器件研制与开发的专业人员也有参考价值，也可作为高等院校和研究院所凝聚态物理、材料科学和有关薄膜科学技术专业及相关专业的教师和研究生的教学用书和参考书。

薄膜结构X射线表征-(第二版) 目录

第二版前言
**版序
**版前言
第1篇基本实验装置
第1章x射线源与x射线探测麦振洪贾全杰
1.1x射线源
1.1.1x射线产生和x射线谱
1.1.2封闭式x射线管
1.1.3同步辐射光源
1.2x射线准直和单色化
1.2.1狭缝
1.2.2双晶单色器
1.2.3多晶单色器
1.3x射线探测器
1.3.1计数器
1.3.2位置灵敏探测器
1.3.3面探测器
参考文献
第2章薄膜x射线衍射仪李建华
2.1高分辨共面x射线衍射仪
2.2掠入射衍射装置
2.3测量分辨率的分析
参考文献
第3章表面/界面x射线散射罗光明麦振洪
3.1固体表面/界面x射线反射和漫散射装置
3.2液体表面/界面x射线反射和散射装置
参考文献
第2篇基 本 理 论
第4章x射线衍射运动学理论麦振洪
4.1引言
4.2x射线衍射几何
4.2.1劳厄方程
4.2.2布拉格方程
4.3倒易点阵
4.3.1倒易点阵定义
4.3.2色散面——ewald球
4.4x射线衍射强度
4.4.1单电子散射
4.4.2原子散射因子
4.4.3结构因子
4.5薄晶体衍射强度
参考文献
第5章金属多层膜的x射线衍射运动学理论罗光明麦振洪
5.1成分混合/合金化的多层膜
5.2[a/b]n多层膜
参考文献
第6章x射线衍射动力学理论(一)——完美晶体麦振洪罗光明
6.1引言
6.2完美晶体中x射线波动方程
6.3双光束近似
6.4色散面
6.5劳厄几何晶体内波场振幅
6.6布拉格几何晶体内波场振幅
6.6.1无吸收晶体的反射率
6.6.2有吸收晶体的反射率
6.7双轴晶衍射摇摆曲线的理论计算
参考文献
第7章x射线衍射动力学理论(二)——畸变晶体麦振洪
7.1引言
7.2晶体中的调制波
7.3高木方程
7.4高木方程的都平形式
7.5多层膜结构的x射线双轴晶摇摆曲线计算
7.5.1概述
7.5.2外延材料反射率的x射线衍射动力学理论解
7.5.3迭代公式中参数的计算
7.6应变弛豫超晶格的x射线双轴晶摇摆曲线计算
7.6.1弛豫机制与应变分布
7.6.2取向差与峰形展宽
参考文献
第8章x射线异常衍射精细结构理论罗光明
8.1没有周期调制的多层膜
8.2[a/b]n多层膜
8.3实验方法
8.4dafs谱线的分析方法
参考文献
第9章x射线掠入射衍射理论贾全杰姜晓明
9.1概述
9.2x射线掠入射衍射准运动学理论
9.2.1dwba
9.2.2dwba下薄膜材料的掠入射衍射理论
9.3掠入射衍射的应用
参考文献
第10章x射线界面反射和漫散射理论李明罗光明
10.1x射线镜面反射
10.2粗糙表面的散射(一)——玻恩近似
10.3粗糙表面的散射(二)——dwba理论
10.4多层膜的dwba散射理论
10.5界面起伏的关联函数
10.5.1表面关联函数
10.5.2自仿射关联
10.5.3多层膜界面之间的关联
参考文献
第3篇薄膜微结构表征
第11章单层膜和多层膜厚度李建华

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