硅微机械传感器
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硅微机械传感器作者：M.ELWENSPOEK 开 本：大32开 书号ISBN：7801446062 定价：35.0 出版时间：2003-10-10 出版社：中国宇航出版社 |
硅微机械传感器 内容简介
本书详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理。
工业技术 机械仪表工业 机械零件及传动装置
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