非硅MEMS技术及其应用

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非硅MEMS技术及其应用

非硅MEMS技术及其应用

作者:陈文元

开 本:16开

书号ISBN:9787313125255

定价:150.0

出版时间:2015-03-01

出版社:上海交通大学出版社

非硅MEMS技术及其应用

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