微制造与纳米技术 本书特色

《微制造与纳米技术》一书主要介绍了微机电系统（mems）、微光机电系统（moems）、激光技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器等内容。书中用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法以及应用和前景等。

微制造与纳米技术 内容简介

《微制造与纳米技术》一书用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法以及应用和前景等。通观全书不仅具有权威性，而且内容丰富、理论深入浅出、实用性强，是广大微制造与纳米技术领域工作者和有关院校师生比较理想的一本参考书。

微制造与纳米技术 目录

译丛序言
译者的话
前言
第1章导论
1.1背景介绍
1.2概述
1.2.1精密工程
1.2.2微铣削和微型钻孔
1.3微机电系统
1.4微电子制造方法
1.4.1体微加工
1.4.2表面微加工
1.5微型化仪器
1.6微机械电子
1.7纳米修整
1.8光变图像
1.9微能源和化学系统
1.10空间微推进
1.11电子束纳米印刷
1.12纳米技术
1.13碳纳米管及其结构
1.14分子逻辑门
1.15纳米尺度生物传感器
1.16c60及其衍生物的化学交联
1.17燃料电池
1.18参考文献

第2章微机电系统与微光机电
系统原理2.1概述
2.2执行器的驱动原理
2.3制造工艺
2.4机械微机电系统
2.4.1机械传感器
2.4.2加速度计、悬臂式
传感器和电容测量
2.4.3扬声器
2.4.4陀螺仪
2.4.5机械执行器
2.5热微机电系统
2.5.1计温学
2.5.2数据存储应用
2.5.3微型加热器气体
传感器
2.5.4热执行器
2.6磁微机电系统
2.7微光机电系统
2.8空间光调制器
2.9数字微镜设备
2.10光栅光阀（glv）
2.11参考文献

第3章微制造中的激光技术
3.1概述
3.2激光的产生
3.3激光的特性
3.3.1单色性
3.3.2方向性
3.3.3亮度
3.3.4相干性
3.3.5空间分布
3.3.6时间脉冲波形
3.4激光应用
3.5微加工中的激光技术
微制造与纳米技术目录3.5.1背景
3.5.2激光的吸收和反射
3.5.3应用技术基础
3.6参考文献

第4章激光干涉仪几何误差软补偿
4.1概述
4.2几何误差校正概述
4.2.1误差测量系统
4.2.2精度评价
4.3几何误差补偿方法
4.3.1几何误差查找表
4.3.2几何误差参数模型
4.4实验结果
4.4.1误差近似
4.4.2线性误差
4.4.3直线度误差
4.4.4角度误差
4.4.5垂直度误差
4.4.6评价
4.5小结
4.6参考文献

第5章体微加工中的蚀刻工艺表征
5.1概述
5.2体微加工的发展历史
5.3湿法体微加工（wbm）
5.4晶体学及其影响
5.5硅作为基板与结构材料
5.5.1硅作为基板
5.5.2硅作为结构材料
5.5.3应力与应变
5.5.4硅的热力学性质
5.6湿法蚀刻流程
5.6.1各向同性蚀刻剂
5.6.2反应现象
5.6.3各向同性蚀刻曲线
5.6.4掩膜
5.6.5依赖型掺杂蚀刻剂
5.7各向异性蚀刻
5.7.1各向异性蚀刻剂
5.7.2各向异性蚀刻剂掩膜
5.8蚀刻控制：停止技术
5.8.1硼扩散蚀刻停止
5.8.2电化学蚀刻自停止技术
5.8.3薄膜与绝缘硅蚀刻停止
5.9体微加工中蚀刻存在的问题
5.9.1基板面消耗
5.9.2角补偿
5.10小结
5.11参考文献

第6章表面微加工和晶片粘合工艺的特点
6.1概述
6.2光刻工艺
6.3表面微加工
6.4表面微加工工艺特点
6.4.1隔离层
6.4.2牺牲层
6.4.3结构材料
6.4.4选择性蚀刻
6.5特性
6.5.1附着力
6.5.2应力
6.5.3黏滞
6.6晶片键合
6.6.1阳极键合
6.6.2融化键合
6.7小结
6.8参考文献

第7章文件安全领域微加工：光变图像
7.1引言
7.2概述
7.3光变图像箔微结构
7.3.1防伪全息图
7.3.2kinegramtm技术
7.3.3catpixtm电子束光刻微结构
7.3.4结构稳定性
7.3.5pixelgramtm调色概念
7.3.6基于exelgramtm轨道的光变图像微结构
7.3.7隐蔽图片显微图像安全特征
7.3.8kinegramtm和exelgramtm的比较
7.3.9vectogramtm图像多路复用技术
7.3.10间隙刻槽单元调制
7.4通用的光变图像微结构
7.4.1光变油墨技术
7.4.2衍射数据箔
7.4.3生物识别光变图像技术
7.5光学图像单?嗦氡砻婺擅?制造
7.5.1微镜光变图像
7.5.2微镜光变图像的起源

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