1?3IntelliSuite简介28-66

1?4IntelliSuite设计实例28-67

2微机械润滑28-70

2?1比例尺度基础知识28-70

2?1?1立方定律28-70

2?1?2连续介质假设28-70

2?1?3表面粗糙度28-71

2?2润滑的基本方程28-71

2?3Couette流阻尼28-71

2?4压膜阻尼28-72

2?4?1基本方程28-72

2?4?2通气孔效应28-72

2?5摩擦和磨损28-73

3静电执行器28-73

3?1面内运动执行器28-73

3?2离面运动执行器28-73

3?3性能参数28-74

3?4材料参数28-74

3?5材料选择优化28-75

3?6多层材料的选择28-76

4压电执行器28-76

4?1执行器性能设计28-77

4?2材料选择28-78

4?3性能综合28-81

5热执行器28-82

5?1双层材料热执行器基本原理28-82

5?2性能设计28-82

5?3性能指标的优化28-83

5?4双层材料执行器材料选择28-85

5?5执行器设计的其他因素28-89

6热气动和相变执行器28-89

6?1热气动执行器的原理28-89

6?2隔膜结构的机械设计28-89

6?3热气动执行器的热学性能28-93

6?4热气动执行器的材料选择28-94

6?5相变执行器28-94

6?6设计综合28-95

7磁执行器28-95

7?1按比例缩小规则28-95

7?2永磁体和线圈间的等效28-96

7?3微线圈中的电流密度28-97

7?4磁相互作用的优点28-97

8执行器比较28-98

8?1微执行器分类28-98

8?2MEMS执行器和宏观执行器的性能图28-98

8?2?1*大力和*大位移28-98

8?2?2位移分辨力与*大位移28-100

8?2?3*大频率与*大位移28-100

第4章微机电系统实例

1微机械压力传感器28-101

1?1器件结构与性能参数28-101

1?2压阻式压力传感器28-102

1?3电容式压力传感器28-105

1?3?1设计改进28-106

1?3?2电路集成和器件补偿28-107

1?4其他类型压力传感器28-109

1?4?1谐振式压力传感器28-109

1?4?2伺服控制式压力传感器28-109

1?4?3隧道压力传感器

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