金属有机物气相外延-理论与实践-(第二版) 本书特色

《金属有机物气相外延——理论与实践 （第二版）》作为金属有机物气相外延（OMVPE或MOCVD）基础理论和应用实践方面的教学参考书，适用于材料物理，材料化学和电子专业的本科生和研究生。同时也适合作为OMVPE生产和研发人员的工具书。本书**章首先总揽了OMVPE的生长过程，并和其他的外延工艺做细致的比较。第二到第六章则分别论述了OMVPE生长的各个方面：热力学（第二章），表面物理过程（第三章），反应源（第四章），动力学（第五章）以及流体力学和质量输运（第六章）。这些论述不但包括基本的模型论述，还包括主要研究进展以及发展的趋势，内容丰富。第七章讨论了OMVPE生长过程的设计，包括动力学限制及高温区的生长，同时也对整体的OMVPE过程进行设计。第八章则介绍了诸如GaAs，InP，GaN等特定的材料。第九章介绍了超晶格结构，第十章则对OMVPE生长的器件进行了论述。

金属有机物气相外延-理论与实践-(第二版) 内容简介

金属有机物气象外延是目前生长金属有机物材料*普遍的方法，应用极为广泛。《金属有机物气相外延——理论与实践 （第二版）》的原作者是该领域世界上屈指可数的专家，译者也是国内该领域的著名学者。本书内容充实、讲解细致，无论对初学者还是专业研究人员都极有价值。

金属有机物气相外延-理论与实践-(第二版) 目录

**章　OMVPE方法概述…………………………………………………… １
　１．１　引言………………………………………………………………………… １
　１．２　外延技术的比较…………………………………………………………… ２
　１．３　OMVPE生长过程概述…………………………………………………… ７
　参考文献………………………………………………………………………… １４
第二章　热力学………………………………………………………………… １６
　２．１　相平衡的热力学基础……………………………………………………… １７**章　OMVPE方法概述…………………………………………………… １
　１．１　引言………………………………………………………………………… １
　１．２　外延技术的比较…………………………………………………………… ２
　１．３　OMVPE生长过程概述…………………………………………………… ７
　参考文献………………………………………………………………………… １４
第二章　热力学………………………………………………………………… １６
　２．１　相平衡的热力学基础……………………………………………………… １７

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