半导体工艺与测试实验
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半导体工艺与测试实验作者：谢德英[等]编 开 本：26cm 书号ISBN：9787030436467 定价： 出版时间：2015-03-01 出版社：科学出版社 |
半导体工艺与测试实验 本书特色
本书内容包括半导体工艺的6个主要单项实验、半导体材料特性表征与器件测试实验、工艺和器件特性仿真实验，并通过综合流程实验整合各单项实验知识和技能，着重培养学生的半导体器件的综合设计能力。
半导体工艺与测试实验 内容简介
本书介绍了与微电子技术有关的半导体工艺和测试方面的实验, 包括半导体制备工艺的主要六个单项工艺实验, 半导体材料与器件的常规测试实验, 半导体工艺和器件特性仿真实验, 以及衔接以上各单项实验综合器件设计、工艺制造、特性表征与检测的课题实验。
教材 研究生/本科/专科教材 工学
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