金属有机化合物气相外延基础及应用 内容简介

本书是国内**本全面系统地介绍MOVPE的专著, 从理论和实践两个方面分别论述了该技术的生长系统和原材料特性等实验基础、MOVPE生长热力学、化学反应动力学和输运现象等理论基础。